電磁閥膜片為圓形膜狀的彈性敏感元件。當膜片的兩面受到不同的壓力（或力）的作用時，膜片向壓力低的一面應變移動，使其中心產生與壓力差成相對關系的位移。膜片的形式主要有平膜片、垂鏈式膜片和波紋膜片三種。平膜片又可按周邊是否固定支撐、中心是否開孔以及膜片區域受力分布狀況的不同等分為多種形式，其中較常用的是由周邊固定的等截面圓形薄板構成的平膜片。垂鏈式膜片由靠近邊緣處開槽的圓板構成，其彈性應變主要發生在邊緣環形槽處，常用這種膜片壓縮應變管或柱來達到測壓目的。垂鏈式膜片的硬中心部分在受壓移動時接近平移，因此用于電容式傳感器或壓電式傳感器效果較好。波紋膜片壓有環狀同心波紋。為了增加膜片中心的位移可把兩個膜片焊在一起制成膜盒或進一步把數個膜盒串接成膜盒組。